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RS-100是一款基于RDL First WLP 行业点胶需求开发的，集晶圆自动上下料功能的喷胶系统。该系统集晶圆自动上下料与晶圆级喷胶功能于一体，可全自动实现晶圆搬运、对位、预热、作业加热、喷胶、散热等功能。配置AMHS自动上下货机器人接口，匹配信息化管理要求与无人化管理趋势，点胶区域达到 550mmx510mm。
核心优势
良率提升：工作机位作业前后检测，末站专业检测，实现多重防呆。严格温控：在晶圆流转与作业全过程中对温度进行管控并自动校正，满足CUF工艺需求。
系统组成
RS-100 | 基本参数 |
外形尺寸 mm | 960×1240×1467（W*D*H） |
重量 kg | 标准机：900 |
用电需求 | 电压220V，50HZ，电流16A |
气压需求MPa | 最小气压0.6 |
设备功耗W | ≦2500 |
有效行程 mm | X550*Y510 |
轨道高度mm | 900±30 |
轨道承重（含载具）Kg | 4.5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
轴数 | X、Y、Z |
驱动方式 | X/Y/Z轴采用伺服马达+精密滚珠丝杆 |
定位精度 | ±15um(X\Y)；±15um(Z) |
重复精度 | ±10um(X\Y)；±10um(Z) |
最大速度mm/s | 1000(X/Y)；300(Z) |
最大加速度 | 1g(X/Y)；0.3g（Z） |
视觉定位系统 | 工业CCD |
计算机及软件 | Windows 系统开发下软件 |
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