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| Rshtek77H | |
| 外形尺寸 | 770×1400×1450mm(W×D×H) |
| * 点胶区 | 350×475mm |
| * 定位精度(高速状态) | ±30um@3sigma(XYZ) |
| * 重复精度(高速状态) | ±20um@3sigma(XYZ) |
| 最大速度 | 1m/s |
| 最大加速度 | 1g(X/Y) |
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